W-01
事例
半導体製造装置
ガスノズル φ0.3の細穴120個を位置度0.01mmで
イメージ（見本）
材質
インコネル718
大きさ
φ48×35mm
数量
試作3個 → 月15個
課題
ガスを均一に吹き出すため、φ0.3mmの細穴を120個、位置度0.01mmであける必要がありました。インコネルは刃物が持たず、途中で折れる心配がありました。
加工の工夫
細穴は放電加工に切り替え、外形と座面だけを5軸で削りました。穴の位置は画像測定機で全数を測っています。
結果
120個の穴の位置度は0.008mm以内に入り、試作3個のあと月15個の注文になりました（見本）。
数字で見る
| 項目 | 前 | 後 |
|---|---|---|
| 細穴の加工 | ドリル（折損あり） | 放電加工 |
| 位置度 | — | 0.008mm以内 |
納めるときに付ける検査成績書（抜粋）
図面の寸法ごとに、全数の測定値を並べます。良い値だけを選んで載せることはしません。
事例・数字・写真・成績書はすべて見本です。