W-01
事例
半導体製造装置
ウエハーチャック φ300 平面度10μm→3μm
イメージ（見本）
材質
A5052
大きさ
φ300×20mm
数量
試作5個 → 月20個
課題
吸着溝の多い薄い円板で、削ると反り、平面度が10μmを超えていました。
加工の工夫
荒加工のあと一晩置いて残留応力を抜き、恒温室の隣で仕上げました。固定治具も、この部品のために作り直しました。
結果
平面度は3μmに入り、試作5個のあと、毎月20個の注文になりました（見本）。
数字で見る
| 項目 | 前 | 後 |
|---|---|---|
| 平面度 | 10μm超 | 3μm |
| 注文 | 試作だけ | 月20個 |
納めるときに付ける検査成績書（抜粋）
図面の寸法ごとに、全数の測定値を並べます。良い値だけを選んで載せることはしません。
事例・数字・写真・成績書はすべて見本です。